OptiLayer 薄膜設計軟件?

OptiLayer 知識庫? ?OptiLayer 三個(gè)模塊的功能介紹? ?OptiLayer 針式算法數理原理及其優(yōu)點(diǎn)

南京光科信息技術(shù)有限公司代理提供全球最強大光學(xué)薄膜設計軟件Optilayer,是鍍膜工藝專(zhuān)家、數學(xué)家和軟件高手的精華之作,采用獨特的針式算法,計算速度超快,設計能力強大,迄今,還沒(méi)有一種薄膜Optilayer不能設計。 ?OptiLayer軟件包支持光學(xué)薄膜的全過(guò)程:參數-設計-生產(chǎn)-反演分析 ?包括OptiLayer,? OptiChar, OptiRE三部分,另有OptiReOpt動(dòng)態(tài)鏈接庫(DLL)可以增強功能。?

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一、OptiLayer 模塊

1.能解決其它軟件不能再優(yōu)化的問(wèn)題;2.運算速度快,比同時(shí)期的同類(lèi)軟件快數百倍。其具體原因可參考針式算法專(zhuān)題

二、OptiChar模塊

OptiChar模塊主要通過(guò)鍍膜材料實(shí)測光學(xué)特性參數(某波段范圍內的反射率和透過(guò)率曲線(xiàn))給出一評估曲線(xiàn),再通過(guò)在某一基底下,考察給定薄膜理論中一些因素(厚度、折射率、消光系數和不均一性)時(shí),擬合出在當前考察因素下,最接近鍍膜材料實(shí)測出的光譜特性評估曲線(xiàn)的層材料光譜特性曲線(xiàn),進(jìn)而給出此時(shí)的層材料模型(包含層材料的厚度、折射率、消光系數和不均一性)。擬合得越好則給出的層材料模型越接近當前鍍膜條件下的實(shí)際情況。

且在考察和不考察某一因素時(shí),如果擬合狀況無(wú)多大變化,則說(shuō)明當前考察的光學(xué)特性(反射或透過(guò))對該因素不敏感。即該因素對當前考察的光學(xué)特性無(wú)多大影響。因而再利用該層材料作設計且為當前考察的光學(xué)特性時(shí),可以忽略該因素的影響而不去考慮它。

如上表即薄膜理論中最重要的一些因素:不均一性、消光系數和表面粗糙度對某一層材料實(shí)際測得的光譜特性(反射和透過(guò))的影響程度。由上表我們可知在利用該層材料模型做設計時(shí),若設計只考慮反射時(shí),則該三因素中只需考慮不均一性;同理若設計只考慮透過(guò)時(shí),則該三因素中需考慮不均一性和消光系數。

三、OptiRE模塊

OptiRE這一模塊為工程反演,其主要目的為向生產(chǎn)過(guò)程提供一個(gè)回饋。

OptiRE中采用一差異函數比較設計模型光譜特性和生產(chǎn)后薄膜實(shí)驗測得的光譜特性, OptiRE的工程反演運算法則是基于使該差異函數值最小。(OptiLay模塊的優(yōu)化設計則是優(yōu)化比較理論和目標光譜特性的評價(jià)函數值)

為提高生產(chǎn)質(zhì)量,我們需要消除或者使誤差最小。在OptiRE中我們考察兩類(lèi)生產(chǎn)誤差:系統誤差和隨機誤差。

系統誤差是那些在下一次沉積或加工時(shí)還會(huì )發(fā)生的誤差。系統誤差通過(guò)工程反演知道并能通過(guò)采用具有更精確刻度的監測裝置;而由工程反演得出的隨機誤差信息能被用來(lái)研究生產(chǎn)誤差產(chǎn)生的原因。

OptiRE中還考察折射率修正、系統不均一性等生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的一些實(shí)際問(wèn)題。注意:應優(yōu)先考察系統誤差。?

四、小結

OptiLayer:考察由設計到目標的評價(jià)函數,通過(guò)優(yōu)化達到設計目標,并進(jìn)行預生產(chǎn)誤差分析;

OptiChar:考察在各種薄膜理論中的重要因素下的層材料光譜特性和其實(shí)測光譜特性的差異函數, 得出較好的切合實(shí)際的層材料模型并得出各因素對當前設計的影響,指出用該層材料設計時(shí)考察需哪些因素。

OptiRE:? 考察設計模型光譜特性和生產(chǎn)后實(shí)驗測得模型光譜特性,通過(guò)工程反演得出生產(chǎn)中產(chǎn)生的一些誤差,將其反饋到生產(chǎn)過(guò)程中去以指導生產(chǎn)。

通過(guò)一動(dòng)態(tài)連接庫功能可將以上幾個(gè)模塊聯(lián)系起來(lái),從而實(shí)現薄膜設計到生產(chǎn)等一系列過(guò)程中的設計、修改和實(shí)時(shí)監測等功能。

一般設計流程:

1.通過(guò)光譜光度計或橢圓偏振儀測出現有層材料光譜特性,將測得數據導入OptiChar中分析給出較好的切合實(shí)際的層材料模型并指出用該層材料設計時(shí)考察需哪些因素;

2.將層材料模型導入OptiLayer并通過(guò)OptiLayer完成薄膜設計,并對設計模型進(jìn)行預生產(chǎn)誤差分析、清除薄層等處理使其更貼切實(shí)際和便于生產(chǎn);

3.按設計加工完薄膜后再對其進(jìn)行光譜特性測量,將測量的光譜特性導入OptiRE中,通過(guò)? OptiRE將其與設計模型光譜特性比較,給出反饋信息用于指導和監控生產(chǎn)過(guò)程。

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